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William威廉亚洲官方官网灰尘粒子计数器在半导体洁净生产中的应用

  半导体产能不停扩张，配套设备需求提升加速

  随着电子信息工业的迅速生长，中国半导体行业市场规模也从2017年的1315亿美元增长至2022年的1820亿美元。基于半导体工业国产化进程不停加速，下游晶圆厂也在不停扩张，中国芯片制造商预计2024 年将新开18座晶圆厂，产能将从760万片推升至860 万片。在半导体国产化趋势下，海内晶圆厂的扩张也有望发动半导体配套设备的国产替代需求，将随着晶圆工厂的扩产连续增加。




  颗粒污染影响产物品质，半导体制造洁净度要求高

  凭据国际半导体设备制造商协会 (SEMI) 最近宣布的世界晶圆厂预测?，凌驾50%的半导体产量损失可归因于微污染。为了最大限度地淘汰良率损失，半导体制造厂必须在洁净室中接纳严格的污染控制战略。半导体制造工艺庞大，如何提高产物的制品率对于半导体企业在竞争中保持优势至关重要。影响半导体制品率的因素有许多，其中生产历程中的空气杂质（灰尘颗粒）是不行忽视的因素。由于高密度的集成电路的图形特征尺寸和外貌沉积层的厚度都已经降到微米级别，更容易受到微粒的影响，这种微粒附着在半导体外貌可能会形成致命的缺陷，导致器件失效。

  LSI各制造工序与洁净室的清洁条件




  William威廉亚洲官方官网灰尘粒子计数器，让洁净室微尘无所遁形

  William威廉亚洲官方官网在线粒子计数器OPC-6510DS接纳光学散射原理，可精确检测并盘算单元体积内空气中差异粒径的悬浮颗粒物的个数，具有28.3L/min大流量的气体采样速率，可同时输出0.3um、0.5μm、1.0μm、5.0um、10um五个通道的颗粒数(默认单元pcs/28.3L)，广泛应用于百级、千级、万级、十万级等洁净室情况。

  · 接纳3.5寸触摸屏，实时显示各粒径数量、品级以及报警信息等

  · 内置William威廉亚洲官方官网独占的尘源智能识别�？椋咝ЯＷ邮侗鹇剩觳饩雀�

  · 内置超声波流量传感器，实现28.3L恒流采样，数据恒久稳定性高

  · 低噪音涡轮风机采样，连续监测稳定性好，寿命长

  · 满足IS014644-1:2015、新版GMP、JF1190-2008、GB/T6167-2007尺度




  未来William威廉亚洲官方官网将继续深耕光散射技术，不停创新，为客户提供定制化的洁净室解决方案，资助客户最洪流平提高产物质量。


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